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用于半导体器件烧结、 封焊、焊接及集成电路金属化管壳等气密性封装
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MAS系列链式炉分为MAS-R系列链式烘干炉/链式烧结炉，MAS-G系列链式烘干炉/链式烧结炉，主要用于半导体器件烧结、 封焊、焊接及集成电路金属化管壳等气密性封装，玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行，运载能力大，并采用水、气电转换器控制传感报警及超温保护报警功能。MAS系列链式炉设有自动点火装置，并有断水报警、断N2报警、断H2报警、点火断报警、停带报警、水温高报警、出料报警等可供用户选择。主要技术指标：工作温度：200℃—1100℃温度控制精度： ±2℃炉膛尺寸：根据客户要求制作加热段数：3—12段冷却方式：水冷/气冷/自然冷却网带速度：30—500mm／min可调工艺气体：氢气、氮气、氢氮混合气、氩气等控制方式：高精度控制器/触摸屏程序控制/工控机微控系统
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