VENA®射频自动匹配器　　VENA系列自动匹配器用于0-1500W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物理气象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；目前国内主要真空设备厂家的产品大多使用手动匹配器，使用起来十分不便，在设备启动后抽真空加功率起辉过程中，要不断地调整手动匹配器的阻抗而使输出达到工艺的要求，而自动匹配器则可以弥补这一缺陷，具有自动，快速，可靠，高效，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降低制程变化性。产品覆盖500W, 1000W, 1500W等功率。特点与优势：　优势　特点1、性能安全可靠，长时间工作稳定2、实时反射功率测量与控制3、优化的设计，安装、使用与维修均十分简便4、匹配范围广，适用于复杂多变的负载系统5、传输效率高6、运行噪声小7、屏蔽效果好8、严格的可靠性测试主要功能特性频率13.560MHz最大传输功率500w反射功率（最大功率时）<3w最大负荷电流10ARMS最大负荷电压4000VRMS传输效率>90%负载阻抗50ΩRF输入连接器50 Ω, UHF（或N-type）, female最大等离子直流偏置电压0 to 2.000 VDC直流偏置电压检测值0~5VDC匹配时间3~5s主电感8圈主电容空气电容可匹配阻抗实部范围0~80Ω可匹配阻抗虚部范围-j200~~+j100RF输入连接器50 Ω, UHF（或N-type），可自定制　接口与冷却方式控制接口自动手动控制窗口冷却方式风冷风流量48CFM电源AC电源220VACAC频率50/60Hz电源功率因素90%(最大功率时)机械特性表面安装螺丝6-32螺丝重量5kg尺寸430mm（D）x220mm（W）x130mm（H），或可自定制