美国VARIAN公司VS氦质谱检漏仪VS系列氦质谱检漏仪特性及优点 ·多种语言和计量单位选择，可选中文界面·135o 电离偏转 (自然聚焦点)的全新质谱技术，金属密封结构·新的电子线路及信号处理设计·最小可检漏率高、灵敏度覆盖范围可达12个量程·快速清氦和快速响应·测试口耐压高，可实现大漏检漏 技术规格性能指标PR02MR15&MD30性能前级泵内置式前级泵外置式及小车前级泵        油式机械泵DS-42 2 m3/hr (34 l/m)DS-302 14 m3/hr (232 l/m)涡卷式干泵N/ATS-620 30 m3/hr (500 l/m)最小可检漏率在1000ppm的氦气背景下5×10-12 atm cc/sec； 5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium测试口最高耐压16 mbar，12 Torr，1600 Pa测试口处对氦气抽速1.8 l/s校准程序自动或手动（内置或外置）氦本底清零按键清零，并具有零点追踪功能操作界面高清晰彩显，TFT触摸屏语言选择中文/英语/法语/德语/日语/韩语/西班牙语循环检测可编程粗抽时间/测试时间，设置报废点响应时间＜1.0秒设定点标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点通讯协议RS-232 通讯借口，9600波特率（9芯窜口）执行标准UL，CE，CSA