可自动进行表面粗糙度和轮廓度的测量測定範圍X軸: 100mmZ1軸: 800μm/80μm/8μmZ2轴（立柱）移动量300mmX轴倾斜范围±45°标尺X轴： 光栅尺Z1轴（检出器）：差动电感式Z2轴（立柱）：ABS光栅尺°分辨率X轴：0.05μmZ1轴（检出器）：0.01μm/800μm，0.001μm/80μm，0.0001μm/8μmZ2轴（立柱）：1μm驱动速度X轴：0-80mm/s和手动Z2轴（立柱）：0-20mm/s和手动测量速度0.02-5mm/s直线度（X轴在水平方向上）（0.05+0.001L）μm，L=移动长度（mm）探针上/下操作弧度移动探针针尖方向朝下测力0.75mN-4mN探针针尖尺寸（标准附件）60°，R2μm-90°，R5μm基座材料（花岗岩）重量主机：140kg控制器：14kg遥控器：0.9kg工作湿度范围15°C至25°C（校正和测量时段内，温差不超过±1°C）工作湿度范围20-80%RH（无凝结状态）保存湿度范围-10°C至50°C保存湿度范围5-90%RH（无凝结状态）电源规格100-120VAC，200-240VAC±10%，50/60HZ电源消耗（仅主机400W