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详细信息
 类型:   致电4006162939咨询  测量范围:   绝对电容薄膜规 ((kPa))
 温度测量范围:   美国MKS ((℃))  存储容量:   631B ((ml))
 额定流量:   致电4006162939咨询 ((m3/h))  电源:   致电4006162939咨询 ((V))
 最大工作压力:   致电4006162939咨询 ((MPa))   

 631B高温Baratron绝对电容压力计  早在10多年前MKS就推出了高温电容压力计,而Baratron®631B型是它最新发展的产品。该压力计的内在工作温度很高,能最大程度减少工艺副产品在传感器内部的沉积,这样就基本消除了由这种沉积沾污引起传感器的输出漂移。它的内在工作温度为150℃或200℃,能用于大部分需要真空环境的半导体工艺中,如金属刻蚀工艺和氮化物薄膜的CVD工艺。它还是生物制药工艺设备中理想的压力计选择,如使用在蒸汽来防止细菌生长的冷冻干燥机和消毒器中。新的包封形式将所需的压力计安装空间至少减小了40%,使其能更容易地与新工艺设备进行集成或对现有设备进行压力计的更新。MKS 631A绝对电容压力计,MKS 631A绝对电容压力计MKS 631绝对电容压力计,MKS 631绝对电容压力计上海TANS实业有限公司是从事流量、压力、真空、温度测量与控制系统的专业集成供应商,经销Brooks、MKS、UNIT、Tylan、AE、STEC、等世界著名品牌(MFC)气体质量流量控制器,G..P、MKS、Inficon、InstruTech等品牌的各类真空计品种规格齐全,原装进口,品质保证。全国免费热线:4006162939在线咨询QQ:906923233MSN:Lilymfc@hotmail.com 
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