INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规MPG400和MPG401,测量范围从5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.优点：复合真空规—冷阴极与皮拉尼宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压无可烧毁的灯丝卓越的引燃功能易清洗FPM或金属密封的馈入件高压加上时LED指示灯亮对数模拟输出讯号应用：高真空压强监测蒸发和溅射系统的压强测量一般真空测量和控制，从中至高真空范围测量范围 (空气, N2)毫巴(乇)5 x 10-9… 1000 (3.8 x 10-9… 760)精度 (N2) 1 x 10-8… 100毫巴%读值≈±30%重复性1 x 10-8… 100毫巴%读值≈±5%安装方向 任何允许压强巴(绝对)≤10 (限于惰性气体)允许温度工作 (室温)贮存 烘烤1)灯丝温度 (皮拉尼) °C°C°C°C +5… +55–40… +65150120电源电压  在规管上V DC+15… +30在供电单元上, 最大电缆长度2)V DC+16… +30纹波Vpp≤1功耗W≤2连接保险丝AT≤1输出讯号(测量讯号)  电压范围V0… +10.5测量范围V+1.82… +8.6电压与压强的关系 对数, 0.6 V/量级误差讯号V<0.5 (无电源) V>9.5 (皮拉尼传感器, 灯丝断裂)输出阻抗?2 x 10最小负载阻抗k?10,短路保护响应时间      p > 10-6毫巴毫秒<10p = 10-8毫巴毫秒≈1000规管标识k?85,参考电源公共点状态  仅皮拉尼模式V0 (低)复合皮拉尼 / 冷阴极模式V15… 30 (高)指示灯LED绿色高压on电气连接 FCC 68设备连接件, 8脚,凹型传感器电缆 8芯,加屏蔽电缆长度米≤50 (8 x 0.14 毫米2)工作电压千伏≤3.3工作电流微安≤500暴露于真空的材料 不锈钢, Al2O3, FPM75,            不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn  Mo, Ni, Au, W                    Mo, Ni, Au, W内容积厘米3≈20重量  DN 25 ISO-KF克≈700≈730DN 40 ISO-KF克≈720≈750DN 40 CF-F克≈980≈1010保护级别 IP 40标准 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1