品名：三维表面测量仪   3D表面测量仪三维表面轮廓仪 便携式3D表面测量仪 产地:法国 品牌:PhaseView测量能力：3D表面形貌 表面轮廓 粗糙度&波纹 台层高度应用范围：膜层     太阳能硅片  纸张        高分子材料 砂轮       橡胶      金属        探针划痕 焊点基本指标：Z轴范围最大至1mm重复性10nm测量范围最大至100×100mm简介：MicroPhase是与常规显微镜连接使用的便携式3D表面测量仪。即在原有显微镜的基础上直接增加3D表面的测量和分析功能，而无需其他光学或机电附件，是非常灵活和实惠的选择。连接的显微镜要求带有标准C-mount接口。  上图示例：7 X 7mm尺寸金属架表面测量及坡度分析 MicroPhase指标参数表：物镜5X10X20X50X100X工作距离，mm23.517.54.511数值孔径0.150.30.450.80.9测量范围(X,Y)，mm21.3 x 1.00.66 x 0.530.33 x 0.270.13 x 0.100.065 x 0.05水平分辨率(X,Y)，um2.81.40.90.50.4GetPhase(GP)/GetPhase Extended(GPE)GPGPEGPGPEGPGPEGPGPEGPGPE最大角度，degrees8891689248838844278垂直范围(Z)，um3510009250462.51.1100.82.5垂直分辨率(Z)，um0.356.90.091.70.040.70.0110.20.0080.17测量采集点1.3M (1280 x 1024 pixels)测量时间，sec＜10粗糙度范围Ra，um＞0.01 to 3机械件接口标准C-mount视频接口L x W x H，mm120 x 74 x 173重量，kg2.5