氟化氢传感器（HF传感器）电流型3极传感器极高的选择性可检测酸性气体稳定性好典型应用TLV-监测半导体工业，一般工业场所技术参数测量范围：0－10ppm灵敏度范围：600nA/ppm±200nA/ppm在 20℃时的零电流：<±100nA在 20℃时的分辨率：<0.25ppm基准电位：0mv线性性：<满量程%5在20℃ 时的反应时间：t50  暴露在空气中5分钟时,小于40St90　暴露在空气中5分钟时,小于90S长期灵敏度飘移:<10%/月工作条件温度范围:-20℃~+35℃湿度范围:15~90%RH,无凝结湿度影响:剧烈的变化会引起零点读数的漂移传感器期望寿命:>12月质保期:38周传感器对温度特别敏感,要注意传感器使用时候的试验条件及周围环境sensoric通常通过使用HCL的交叉灵敏度来校准数据在规定的温度范围内,传感器温度特性a) 零点读数小于0.5ppmb) 在 时灵敏度小于20%20℃时的交叉灵敏度气体                                                  浓度                读数醇类                                                1000ppm              0氢                                                    3000ppm             0硫化氢                                             20ppm                 0氯气                                                1ppm                  0.4一氧化碳                                         100ppm               0氯化氢                                             10ppm                6.6                   一氧化二氮                                      10ppm                  0注意:1.不同传感器干扰因素不同,寿命不同.不提倡校准干扰气体.2.此表没有涵盖所有的气体,传感器可能会对其它气体敏感